炉

体

结

构

1、炉盖是由内外封头及法兰组成，其外层及采用碳钢材料制作而成，内层及法兰采用不锈钢，内封头为 10mm 不锈钢，外封头为 10mm 不锈钢，法兰为 40mm 不锈钢，内外封头与法兰焊接成一个整体，两层支间形成夹套可以通水冷却，炉盖开关及锁紧采用手动方式。

2、发热元件采用硅钼棒（硅钼棒为标准件，硅钼棒冷端为 ø12mm），将硅钼棒(48 根）分成三区，每区 12 根连接成三相，由特质的引出电极从炉体引出，并由电炉控制

系统三相供电经过变压器降压后用铜排或电缆连结到引出电极，形成一个控制回路。

3、保温层由多晶体莫来石材料及不锈钢框架经过加工制作成一个整体的隔热系统，能方便安装及维修.

4、氮化硅合成炉内设有保温层支撑座，将保温桶放在设计好的支撑座上，保温层使用不锈钢外框及保温材料做成，保温材料为多晶体莫莱石。

真

空

系

统

真空系统由机械泵+罗茨泵，气动高真空蝶阀，带充气压差阀及不锈 钢管道组成，真空测量仪选用电阻式数显真空测量仪。

电

气

系

统

（1）供电是采用低压变压器及可控硅功率控制器，380V 三相电源经过降压变压器，电压降后经过连接铜牌或电缆送到引出电极上。本系统具有软启动、软切断、恒流、过流保护等功能。

（2） 整台电炉的电气控制采用昆仑通触摸屏，并配有 12 寸触摸屏，并通过触摸屏按照工艺要求设置及保存。也可将输出信号接入用户的 DCS 系统中实现全过程监控；本系统具有软启动、软切断、恒流、过流保护等功能：热电偶采用钨铼热电偶。

（3）整台电炉在工作状态下具有，水欠压（及欠流）、超温、过流自动连锁及报警、保护切断主电源功能，报警状态为声、光指示方式 。

（4）气体控制方式

气体经减压阀降压后，由电磁阀及气体流量计按比例进入气体混合桶，混合气体分二路进入炉膛，在升温过程中，气体会随温度的升高而膨胀超压，超压部分再由压变及电磁阀自动将多余气体从炉体底部排出炉体。（控制回路，回路为单回路）

水

冷

系

统

冷却水由总管进入，经过各支路送至炉体.炉盖及需要冷却的地方，然后汇总到回水管进入水箱或冷却塔，每路冷却水都配有手动铜球阀，可以按需要调节流量大小；总进水管上装有电接点压力表，当水压低于设定压力时，控制系统会声.光报警.并自动切断主电源，冷水机由客户自备。