近日，全球首台 LiteScope 飞纳版 AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机顺利完成安装验收，正式入驻贵州师范大学机电学院科研平台。该设备基于飞纳扫描电子显微镜（SEM）与 LiteScope 原位原子力显微镜（AFM）深度集成，可在同一平台实现微观形貌、电学性能及成分信息的关联分析，为先进金属材料研究提供全新的多维表征手段。

PART01

聚焦先进金属材料研究，提升微观表征能力

贵州师范大学机电学院新材料科研团队长期围绕铝基轻量化复合材料、金属表面改性技术、增材制造功能涂层以及工业防护镀层等方向开展研究，相关成果已广泛应用于航空航天、新能源汽车等领域。

在材料研发过程中，研究人员不仅需要观察涂层与基体的微观结构，还需要进一步分析表面粗糙度、局部导电特性以及元素分布等关键参数。然而传统 AFM 与 SEM 分体测试模式往往需要反复转移样品，不仅增加实验周期，也难以保证不同测试数据来自完全相同的区域，给界面关联分析带来挑战。

此次 LiteScope 飞纳版 AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机的引入，为课题组提供了形貌、结构、电学及成分信息同步获取的新平台，有助于进一步提升材料研究的效率与数据可靠性。

PART02

AFM 与 SEM 深度融合，实现多维关联分析

作为全球首台 LiteScope 飞纳版 AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机，该系统将原子力显微镜（AFM）深度集成于飞纳扫描电子显微镜（SEM）平台，实现同一样品、同一区域的原位关联表征。研究人员无需反复拆装和转移样品，即可同步获取 SEM 形貌、EDS 元素信息以及 AFM 三维形貌和局部物性数据，有效提升实验结果的一致性与可靠性。

依托 SEM 的高分辨率实时导航能力，系统能够快速锁定目标区域，并实时监控 AFM 探针位置，大幅提高微缺陷、局部失效区域以及特殊结构的定位效率。相比传统光学导航方式，研究人员能够更加高效地完成目标区域查找与精确测试。

在测试能力方面，系统不仅支持纳米尺度三维形貌与粗糙度分析，还可开展 C-AFM、KPFM、EFM 等多种电学表征，实现局部导电性、电势分布及界面电学特性的研究。同时结合 EDS 能谱分析，实现材料形貌、成分与性能之间的关联研究，为先进金属材料、功能涂层及复合材料研究提供更加全面的分析手段。

在操作体验方面，设备搭载 NenoView 专属控制软件，可自动完成探针校正、图像配准及数据分析流程，进一步降低操作门槛，提高实验效率。飞纳 SEM 平台快速抽真空设计，也使设备能够更加高效地完成样品测试准备工作，满足科研平台高频次、多样品测试需求。

此外，系统采用紧凑型台式设计，主机重量约 75 kg，仅需常规实验台即可完成部署，无需额外防震基础设施，能够轻松融入高校实验室环境，在降低建设与运维成本的同时，为科研人员提供更加便捷的先进表征平台。

PART03

赋能科研创新，拓展学科研究边界

随着设备正式投入使用，贵州师范大学将进一步完善先进材料表征平台建设。

依托 AFM 与 SEM 一体化技术优势，研究团队不仅能够开展铝基复合材料及功能涂层研究，还可将研究方向拓展至储能电极材料、半导体材料、纳米薄膜以及高分子复合材料等领域，实现从微观结构观察到局部性能分析的全方位表征，为跨学科创新研究提供新的技术支撑。

钢铁和合金的复合分析

利用原子力显微镜对双相钢进行复合分析，使用 SEM、AFM 形貌、MFM（磁畴分布）和 KPFM（表面电势分析）多种分析手段对样品同一位置进行分析，并拟合成直观的三维图像。

电池的原位表征-锂镍锰钴氧化物

SEM 成像识别了感兴趣的抛光区域。C-AFM 确认了碳添加剂的导电性及其在连接性中的作用。SEM 和 AFM 的原位联用为电池领域研究提供了全新视角。

半导体材料-二硫化钼（MoS2）

展示了 AFM-in-SEM 解决方案，用于精确和复杂分析通过 CVD 在厚 SiO2/Si 上生长的 MoS2 薄片。使用 AFM 形貌、SEM、EFM 和相位成像对 MoS2 进行复杂表征。

未来，该平台将在材料微结构解析、界面性能研究以及新材料开发等方面发挥重要作用，进一步提升贵州师范大学先进材料领域科研创新能力和人才培养水平，为西南地区新材料科学研究与产业技术发展注入新的动力。

PART04

预约试用：飞纳版 AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机

LiteScope 飞纳版 AFM-SEM 是全球首款基于飞纳扫描电子显微镜平台深度集成 AFM 的一体化系统，实现了扫描电子显微镜与原子力显微镜的原位联用。系统广泛适用于先进金属材料、半导体器件、锂离子电池、二维材料、生物医药及功能薄膜等领域，为科研人员提供从微观形貌到局部物性分析的完整解决方案。