【简单介绍】          

滑轨管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。高纯石英管作为炉膛，无污染，抗急冷急热性能好。设备外形精巧美观，周边拓展性好，适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

【详细说明】

FGL（RTP）系列滑轨式管式炉(T max 1100℃)

滑轨管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。高纯石英管作为炉膛，无污染，抗急冷急热性能好。设备外形精巧美观，周边拓展性好，适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

特点

1. 工作温度RT～1000℃。

2. 炉管管径25mm～90mm可选。

3. 温区个数1个

4. 程序控温仪，智能逻辑PID算法，控制精准。可编辑、储存并调用多段程序，无需重新设置，操作简单。

5. 采用陶瓷纤维FEC加热模块，电阻丝内嵌式环绕加热。

6. 炉壳结构，双层炉壳风冷结构。

7. 炉口密封：不锈钢双层密封法兰，进、出气美标针阀。

8. 炉管保护：两端可调节式法兰支撑结构，延长石英管的使用寿命。

9. 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电。

10. 安全保护当炉体漏电时自动断电。。

11. LED高强度抗破坏全不锈钢按钮，经久耐用。

12. 额外选配：炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）；

真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；

气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；

监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）；

              注：选件需配置拓展柜体；

技术参数：