半导体、MEMS、水晶振子等精密器件的双面检测，长期依赖人工翻转与手动测量，不仅效率低，还易产生个体误差。日本 FLOVEL 全新推出的 TOMOS-60XY 双面显微镜系统，打破传统检测模式，通过 6 英寸电动 XY 载物台与自动对焦功能的融合，打造半导体行业全自动双面检测的全新解决方案，以自动化、高精度的核心能力重塑精密检测标准。

这款系统搭载双路 320 万像素高分辨率成像单元，支持彩色 / 黑白双模式切换，通过 Camera Link 高速图像输出接口，实现正反面画面的同步捕捉与实时传输。搭配 5、10、20、50 倍多档可选物镜，以及 2 组可软件控制的白色 LED 照明，无论是表面纹理、微小缺陷还是整体轮廓，都能呈现高保真细节，完美适配半导体晶圆、电子元件等多材质、多结构工件的成像需求。

TOMOS-60XY 的核心突破在于全自动双面对准与测量。6 英寸电动 XY 载物台行程覆盖 150mm×150mm，可根据预设坐标自动移动至指定检测位，无需人工调整工件位置；Z 轴最大 30mm 行程搭配内置自动对焦功能，可自动识别工件表面并完成精准对焦，解决不同高度工件的快速适配问题。系统内置表裹光轴补偿、镜头倍率补偿、相机安装 θ 补偿三大核心算法，确保正反面成像精准对齐，可自动识别圆、方、十字等各类对准标记的边缘，精准计算中心坐标偏差，实现微米级位置偏移测量，彻底消除人工操作带来的误差。

在智能化功能层面，系统支持 XYZ 载物台控制、测量条件自定义、测量地图制作与配方登记，可一键规划多个检测点位，自动完成连续移动与多点测量；搭载 XY 轴偏差校正与中心定位功能，将测量对象精准移动至图像中心，消除载物台移动误差，保障测量结果的稳定性。配合 Windows 11 专业操作系统与竖屏液晶双画面显示，操作人员可直观同步查看正反面图像，操作界面简洁直观，大幅降低使用门槛。

该系统在应用场景上实现了多领域覆盖，可用于电子纸电泳粒子、流体、过滤器等的双面同时观察，水晶振子、MEMS 器件的对准标记与贯通孔位置偏移检测，以及半导体线幅图案、电子元件正反面的尺寸测量。无需人工翻转工件，即可完成双面数据采集，支持无人工差异的自动测量，完美适配半导体、精密电子、光学器件等行业的批量检测与自动化产线集成需求。

同时，系统提供深度定制服务，可根据客户需求定制软件功能，包括特殊标记自动识别、非标准尺寸测量、专属数据输出格式等；也可针对工件形状与材料定制样品夹持器，进一步提升检测适配性，满足不同行业的个性化检测需求。