FT-3110 系列全自动四探针测试仪

2026-03-05  下载量:2 134KB

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FT-3110 系列基于四点探针法,全自动测试半导体 / 薄膜材料的方块电阻、电阻率、薄层电阻。电阻精度≤0.3%,覆盖 10⁻⁶~2×10⁵Ω/□,支持 2-12 寸晶圆。PC 软件控制,探针压力 100-500g 可调,单点 / 五点 / 面扫描,生成 2D/3D 图谱,符合 ASTM F84、GB/T 1551,适配晶圆、太阳能电池、OLED、导电膜等。
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