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金相显微镜(metallurgical microscope)是用入射照明来观察金属试样表面(金相组织)的显微镜,它是将光学显微镜技术、光电转换技术、计算机图像处理技术完美地结合在一起而开发研制成的高科技产品,可以在计算机上很方便地观察金相图像,从而对金相图谱进行分析,评级等以及对图片进行输出、打印。金相显微镜是光学显微镜的一种,分辨率相对电镜小,微米级分辨率,放大倍数小,但它易于操作、视场较大、价格相对低廉。
扫描电镜一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。扫描电镜的特点:电镜,图像分辨率高,纳米级分辨率,放大倍数可调且大,另一个重要特点是景深大,图象富立体感。
两种显微镜存在很大的区别,主要有以下几方面:
一、光源不同:金相显微镜采用可见光作为光源,扫描电镜采用电子束作为光源成像。
二、原理不同:金相显微镜利用几何光学成像原理进行成像,扫描电镜利用高能量电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。
三、分辨率:金相显微镜因为光的干涉与衍射作用,分辨率只能局限于0.2-0.5um之间。扫描电镜因为采用电子束作为光源,其分辨率可达到1-3nm之间,因此金相显微镜的组织观察属于微米级分析,扫描电镜的组织观测属于纳米级分析。
四、景深:一般金相显微镜的景深在2-3um之间,因此对样品的表面光滑程度具有极高的要求,所以制样过程相对比较复杂。扫描电镜的景深则可高达几个。