薄膜测量主题网络研讨会

薄膜通常是指形成于基底之上厚度在一微米或几微米以下的固态材料。随着沉积工艺的进步，薄膜材料的的功能性不断被开发利用，越来越多的应用于不同的工业领域，譬如半导体、光学器件、汽车、新能源等诸多行业。

沉积工艺决定了薄膜的成分和结构，最终影响薄膜的物理性能。马尔文帕纳科的X射线分析仪器可以对不同类型的薄膜材料进行表征，帮助客户获取薄膜成分、厚度、微结构、取向等关键信息，帮助研究者优化或控制工艺参数，以改善薄膜材料的性能。

10月14日（周五），马尔文帕纳科将与仪器信息网联合推出主题为“微观丈量，‘膜’力无限——X射线分析技术应用于薄膜测量”的专题网络研讨会。活动将特邀同济大学物理科学与工程学院朱京涛教授，马尔文帕纳科亚太区半导体行业经理钟明光先生，以及马尔文帕纳科XRD产品经理王林博士，XRF产品经理熊佳星先生做薄膜测量应用的相关报告，内容涉及多晶薄膜反射、织构、应力；半导体薄膜测量以及涂层、镀层等金属薄膜的成分及结构鉴定。还将安排几款用于薄膜测量的X射线分析仪器的视频演示。期待与涉及薄膜测量方向的广大科研工作者和企业研发、质控专业人员共同探讨薄膜测量领域X射线分析技术的发展及应用。

活动日程

朱京涛 博士，教授，博士生导师，毕业于复旦大学物理系，主要从事微纳光学、薄膜光学与技术研究。作为项目负责人，已完成国家自然科学基金重点项目1项，面上项目6项，国际合作交流项目1项，重大专项1项，军口重大专项5项，军口配套课题十余项，在国际刊物上共发表学术论文140余篇，国际学术会议邀请报告6次。获得上海市技术发明二等奖和军队科技进步三等奖各一项。为我国重大科学装置研制极紫外、软X射线与X射线波段纳米薄膜器件，并实现进口替代和产业化。

王  林博士，马尔文帕纳科中国区XRD产品经理。2004年毕业于清华大学物理系获学士学位，2011年于澳大利亚University of Wollongong伍伦贡大学获得博士学位，博士期间研究方向为超导薄膜材料。毕业后即加入帕纳科公司，从事XRD应用研究及技术支持等工作。

钟明光先生，马尔文帕纳科亚太区半导体行业经理，北维吉尼亚大学工程硕士，曾任台湾明志科技大学及台湾东海大学 X-Ray专题讲师。在马尔文帕纳科任职超过20年，一直从事半导体行业分析设备的应用与研究，发表多篇 X-Ray 应用于SiGe材料的分析技术文章，精通X射线衍射及X射线荧光在第一代、第二代及第三代半导体材料领域的分析技术。

熊佳星先生，马尔文帕纳科中国区XRF产品经理。2010年毕业于中国科学技术大学，化学物理专业硕士；2012年加入荷兰帕纳科公司，负责其在中国XRF产品的应用开发及支持工作，后担任产品经理，负责XRF产品线。

薄膜测量相关产品介绍

高分辨 X 射线衍射仪

X'Pert3 MRD/XL

马尔文帕纳科新一代X'Pert3 MRD(XL)高分辨X射线衍射仪，专为薄膜分析打造，具有全新编码定位技术测角仪，PreFIX预校准光路系统，适用高负载条件的欧拉环样品台，允许装载200mm-300mm的晶圆，PIXcel3D探测器实现高动态范围的测量，灵活切换0D-1D-2D静态及扫描模式。性能的改进大大增强其可靠性，进一步提高了分析能力。可提供一体化解决方案来满足不同需求和应用：

半导体和单晶晶圆：倒易空间探索、摇摆曲线分析

多晶固体和薄膜：织构分析、反射测量

超薄薄膜、纳米材料和非晶层：掠入射物相鉴定、面内衍射

非常温条件下的测量：随温度和时间变化的峰高

多功能 X 射线衍射系统

Empyrean 锐影

Empyrean锐影多功能X射线衍射系统具有在一台仪器上测量多种类样品的能力，无论是粉末、薄膜还是纳米材料与固体物质。作为马尔文帕纳科第三代Empyrean锐影，具有智能“MaltiCore”多核光路系统，无需人工干预即可实现多种类的不同测量。外延薄膜分析中，Empyrean锐影可以放置最大140mm的晶圆，对2英寸的晶圆和晶圆碎片进行完整XY Mapping。在薄膜分析领域的应用还包括：

物相鉴定（和深度剖析）

X射线反射

薄膜应力分析

织构分析

In-plane衍射

外延层分析

倒易空间Mapping

非常温环境条件下测量

多功能台式XRD

Aeris 

Aeris台式X射线衍射仪具有大功率系统上才能实现的数据质量和数据采集速度。外置进样系统，易于使用，方便环保。无需外置水冷、占地面积小，节约实验室空间。新一代Aeris，还可配置掠入射薄膜分析功能模块。

圆晶分析仪

2830ZT 

2830ZT波长色散X射线荧光圆晶分析仪提供了用于测量薄膜厚度和成分的功能。针对半导体和数据存储行业而设计，专门配备了具有突破性的ZETA技术X射线管，和多层膜分析软件FP Multi，FALMO-2G可集成到任意实验室或晶圆厂，该仪器可为多种晶片（厚达300mm）测定层结构、厚度、掺杂都和表面均匀性。

波长色散X射线荧光光谱仪

Zetium X射线荧光光谱仪

Zetium光谱仪金属专业版提供了一个完整的专用工具，可用于分析金属制造所需的原材料以及特定的金属解决方案，满足过程控制的苛刻分析要求。这是通过提供专用解决方案，融合优化硬件、内置专业知识模板实现的，并可根据要求定制。软件中可添加Stratos涂层分析软件，完成对涂层、表面层的多层结构进行快速、简单和非破坏性的分析。

台式能量色散X射线荧光光谱仪

Epsilon 4 

Epsilon 4台式XRF分析仪，广泛用于从研发到流程控制等各个领域中需要从氟(F)到镅(Am)元素分析的行业细分市场。Epsilon4将激发和检测技术与成熟软件和智能设计相结合，其分析性能更接近于功率更高的落地式XRF光谱仪。

Malvern Panalytical

Malvern Panalytical ，马尔文帕纳科的使命是通过对材料进行化学、物理和结构分析，打造出客户导向型创新解决方案和服务，从而提高效率和产生切实的经济影响。通过利用包括人工智能和预测分析在内的最近技术发展，我们能够逐步实现这一目标。这将让各个行业和组织的科学家和工程师可解决一系列难题，如最大程度地提高生产率、开发更高质量的产品及帮助产品更快速地上市。