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烧结筑基,薄膜赋能|合肥恒力《压敏电阻PVD+烧铜炉工艺进阶》主题分享
合肥恒力装备有限公司 2026/10/26 14:10:31 点击 1708 次
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近日,2026压敏电阻专题研讨会圆满落幕。本次会议聚焦高端氧化锌压敏电阻技术迭代,围绕车规、储能、电力保护等前沿应用,集中探讨新材料体系、新型电极工艺、量产良率提升等热点,汇聚压敏材料、器件设计、制造工艺、装备配套全产业链从业者。



合肥恒力装备电热事业部总经理在会上作《烧结筑基,薄膜赋能——压敏电阻PVD+烧铜炉工艺进阶》专题报告,分享恒力在压敏陶瓷烧结、PVD薄膜金属化、配套烧铜热处理一体化的装备开发与工艺协同经验,报告内容紧贴当前行业新工艺落地痛点,现场交流氛围热烈。



传统银电极方案在高通流、车规级场景下存在局限,PVD薄膜金属化+烧铜工艺,是实现低接触电阻、提升浪涌耐受能力的重要技术方向。该工艺链条具备强关联性:瓷基体烧结的致密度、晶粒与晶界状态,直接决定镀膜界面质量;而PVD沉积之后的烧铜工序,对气氛纯度、氧分压控制、温场均匀性极其敏感,稍有偏差,便会出现铜膜氧化、界面扩散不均、膜层脱落、接触电阻离散等问题,也是目前新工艺放大量产的主要卡点。


报告结合批量产线实测数据,系统阐述了陶瓷烧结质量前置管控要点,拆解PVD镀制后烧铜的热工窗口,分析气氛波动、升降温曲线、炉膛洁净度对铜膜微观结构与界面结合的影响,同时介绍合肥恒力面向该工艺开发的专用烧铜热处理装备、连续式烧结窑成套方案,以及小试、中试到量产线迭代过程中的工程优化思路,为同行提供可参考的产业化实施路径。


报告结束后,众多工艺负责人、研发工程师来到交流点位,就气氛配置、工艺试产、老产线改造、产能规划等问题开展深入对接,不少企业表达了联合工艺验证、产线配套的合作意向。


长期深耕功能陶瓷精密热工赛道,合肥恒力持续紧跟压敏、热敏、MLCC等元器件前沿制造工艺,从单一窑炉装备,逐步向“陶瓷烧结+后道薄膜热处理”一体化方案延伸。未来,恒力将持续打磨适配PVD+烧铜这类新型电极工艺的热工装备,持续推进工艺联合验证,助力国产压敏电阻向车规、储能等高可靠场景突破,共建自主可控的浪涌防护产业链。

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