
中国粉体网讯 当前金刚石主流制备工艺有高温高压法(HPHT)和化学气相沉积法(CVD),CVD法可制备高纯度、大尺寸单晶金刚石,是半导体级金刚石的首选工艺,也是人造金刚石高端化的核心支撑。
氢气是CVD金刚石生长过程中贯穿全流程的核心功能气体,承担关键作用:(1)载气支撑:作为主载气,将碳源(甲烷)稳定输送至反应腔,保证反应均匀、连续,为晶体生长提供稳定环境;(2)刻蚀调控:作为选择性刻蚀剂,优先刻蚀去除非金刚石相碳,减少杂质残留与晶体缺陷,保障晶体纯度;(3)表面活化:激活基底表面活性位点,引导金刚石晶体有序生长,提升晶体完整性与结构稳定性。
山东赛克赛斯氢能源有限公司成立于2007年,是国内首家从事“PEM纯水电解制氢”装备的国家高新技术企业。区别于市场同类产品追求极致指标的路线,赛克赛斯专注于工业级、高适配、高稳定场景,持续聚工业级高精尖用气赛道,持续迭代适配电子特气场景的专用制氢设备,已批量服务多家金刚石、宽禁带半导体头部企业,积累大量特殊场景、全天候、长周期量产项目落地案例,具备成熟的跨区域大型项目配套服务能力。
QLS-H/T系列是赛克赛斯针对半导体、金刚石等超纯用气场景专项迭代的工业级纯水电解制氢装备,依托自研PEM质子交换膜纯水电解技术,直击宽禁带半导体用气核心痛点。设备搭载自研高活性催化电极,结合全链路洁净管路设计、智能闭环控制系统,各项核心性能指标远超行业通用标准,完全适配四代金刚石半导体精密制造严苛工况。

QLS-H/T系列制氢设备
设备具有的核心性能与优势如下:
(1)极致高纯产气,严控杂质,匹配半导体纳米级制程;
(2)全域可调工况,7×24h不间断稳定运行,适配量产节奏;
(3)全洁净材质+防爆安全设计,适配无尘车间工况;
(4)节能低耗+智能运维,降本增效适配长期生产;
(5)模块化集成设计,交付高效,适配异地标杆项目落地;
(6)全生命周期兜底售后,偏远厂区运维无忧。
2026年9月3日,中粉会展将在河南•郑州举办“第三届半导体行业用金刚石材料技术大会暨功率半导体技术应用与装备研讨会”。届时,我们邀请到山东赛克赛斯氢能源有限公司营销总监王一伟出席本次大会并作题为《金刚石材料特效药-超高纯氢气制备与应用实践》的报告。报告将围绕超高纯氢气制备工艺、技术创新点与实际应用案例展开介绍。

个人简介
王一伟,从事PEM超高纯氢气制备市场开发,参与国内外多个大型绿氢、电子级特气项目设计施工,在PEM制氢领域有丰富的项目设计规划经验,参与国家十四五氢能重点专项,参与工信部清洁能源揭榜挂帅项目。
参考来源:山东赛克赛斯氢能源有限公司、粉体网
(中国粉体网编辑整理/石语)
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