中国粉体网讯 3月28日，由中国表面工程协会主办，合肥盈锐高科新材料科技有限公司（简称：盈锐高科）与扬州大学联合承办的“高性能耐蚀耐磨陶瓷涂层材料研发及其在半导体刻蚀装备中的应用”科技成果评价会在合肥顺利召开。
经多环节严谨核查，专家委员会一致认定，项目成果整体处于国际先进水平，其中高纯度YOF粉末及大气等离子喷涂涂层耐含氟等离子体刻蚀性能达到国际领先水平，为我国半导体装备国产化进程筑牢关键表面防护技术根基。
在半导体制程进一步精细化的背景下，刻蚀、离子注入等环节对污染物、颗粒物等要求进一步严苛，通过涂层技术，可以稳定工艺条件和延长产品寿命，抑制颗粒的发生和表面损伤，稳定机室的条件，从而延长产品的寿命、提高生产率和开工率，为节约客户的成本做贡献。
目前常用于半导体设备用的涂层材料有氧化铝、氧化钇、氟氧化钇、氟化铝等，由于半导体领域对孔隙率、一致性、杂质含量等要求高，目前半导体级特殊涂层的陶瓷粉体大部分为海外进口，以国内某半导体零部件上市公司为例，据其招股说明书显示，其主要服务面板企业的涂层业务，半导体级暂未量产，其氧化钇粉体100%依赖进口。
盈锐高科联合扬州大学历经多年技术攻关，聚焦高端半导体制造装备关键部件在强腐蚀、高磨损、复杂电热应力等极端工况下的长效可靠防护行业难题，以“新材料设计—新工艺开发—新解决方案”全链条创新为核心，成功构建起具有完全自主知识产权的高性能陶瓷涂层技术体系。
该项目在核心技术层面实现三大突破：
1）创新提出高性能陶瓷涂层材料“成分-结构”协同设计方法，突破传统氧化铝等涂层性能局限，开发出高纯度钇系、Cr2O3基复合耐磨、中/高熵介电陶瓷等半导体装备专用防护材料体系；
2）建立半导体级涂层“粉—构—效”一体化制备技术，攻克高纯度、低缺陷、强结合涂层的宏量制备难题，实现涂层从原子尺度到微观结构的跨尺度精确调控；
3）开发与主流半导体装备深度适配的全域防护涂层解决方案，在静电卡盘、腔室内衬、晶圆传输部件等核心部件成功应用，显著提升装备服役寿命，有效降低晶圆污染率、提高芯片制造良率。
经第三方权威检测及实际产业化应用验证，项目核心性能指标表现亮眼：氧化钇（Y2O3）和氟氧化钇（YOF）粉末纯度分别达到99.99545%和99.9930%，涂层耐刻蚀性能较传统技术提升4-5倍；Cr2O3基复合陶瓷涂层显微硬度达1509.1 HV，耐磨寿命提高2-3倍；中/高熵多元陶瓷介电损耗降至0.006（1 kHz），介电性能稳定性提升3-5倍。
目前，该技术成果已在多家半导体、机电装备制造企业实现规模化应用，近三年新增销售额超19.3亿元，新增利润超1.8亿元，在推动产业技术升级的同时实现显著经济效益，行业示范效应突出。
盈锐高科是一家以先进材料、高端制造、功能涂层服务三大业务板块为主的高科技企业，先进材料业务板块为用户提供碳化物、氧化物、金属、合金、复合粉体等系列热喷涂材料产品。
来源：
永鑫方舟资本：永鑫行研|半导体精密涂层行业研究
盈锐高科公众号
（中国粉体网编辑整理/空青）
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