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【原创】半导体产业升级驱动下,石英坩埚大尺寸、高纯度、长寿命成必然趋势——访锦州佑鑫石英科技有限公司研发中心主任马力

初末

2025.11.26  |  点击 11452次

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导读访锦州佑鑫石英科技有限公司研发中心主任马力。

中国粉体网讯  2025年11月20—21日,由中国粉体网主办的第九届全国石英大会暨展览会在江苏徐州盛大召开。会议聚焦高纯石英砂、石英制品、硅微粉等核心议题,吸引了全产业链同仁齐聚。会议期间,中国粉体网特别邀请到锦州佑鑫石英科技有限公司研发中心主任马力,做客对话栏目,就半导体石英坩埚行业热点话题接受独家专访。



中国粉体网:您的报告主题提到半导体石英坩埚发展趋势,那您能否谈谈未来3-5年,半导体石英坩埚的核心迭代方向?背后驱动因素是什么?


马主任:半导体石英坩埚未来3-5年核心迭代方向是大尺寸、更长寿命、更高纯度、及更优的热稳定性能。背后驱动因素是硅片尺寸的迭代8英寸已向12英寸主流化,18英寸已进入研发阶段;另外半导体芯片制程不断进步,要求单晶硅的纯度越来越高。


中国粉体网:国际头部企业在半导体石英坩埚领域的技术布局,对国内企业形成了哪些竞争压力?国产替代目前处于什么阶段?


马主任:国际头部企业拥有更高的核心技术,同时拥有稳定高端客户群体,国内企业在市场上开拓难度较大。目前国产替代处于加速推进阶段,在中低端半导体石英坩埚应用领域已部分实现国产替代,在高端半导体坩埚应用领域目前还很难实现。


中国粉体网:高纯石英砂的品质是如何影响石英坩埚在拉晶过程中的性能与寿命的?


马主任:杂质元素在高温过程中会影响石英坩埚的耐高温性能和析晶温度,导致石英坩埚使用寿命短,同时会伴随杂质进入硅溶液导致拉晶中断或影响单晶指标。


中国粉体网:半导体石英坩埚对石英砂的核心要求体现在哪些指标上?具体有什么要求?


马主任:半导体石英坩埚对石英砂的核心要求体现在纯度、包裹体及稳定性上。纯度大于4N8以上(除各项金属元素指标外,硼元素要小于0.01ppm);包裹体少且最大直径不超过5μm.


中国粉体网:高纯石英砂的供应稳定性一直是行业关注焦点,您如何看待当前国内高纯石英砂的自主化进展?对下游坩埚企业的生产布局有哪些影响?


马主任:国内在高纯石英砂自主化方面取得了显著进展,随着研发的不断投入在提纯工艺上掌握了关键核心技术,打破了国外的技术垄断;另外从矿源勘探到加工,形成了完整的产业链,提高了产能,满足了市场供应;但在高纯产品稳定性一致性方面,还需要继续优化。对于石英坩埚企业来说,加强了与高纯石英企业紧密合作,一定程度上减少了对进口砂的依赖。


中国粉体网:随着半导体产业的持续升级,石英坩埚与石英砂的市场将呈现怎样的发展趋势?


马主任:石英坩埚品质要求越来越高,大尺寸、低杂质、高强度、长寿命发展方向。石英砂高纯化需求加剧,将会进一步推动合成石英的技术开发。


(中国粉体网编辑整理/初末)

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