中国粉体网讯  长期以来，应用于半导体先进制程的7N级高纯石英砂高度依赖进口，是我国半导体产业链的关键瓶颈之一。随着芯片技术迭代，先进制程对石英基材的纯度、均一性与稳定性提出了极为严苛的要求。

近日，弘扬石英实现了从天然石英矿提纯到高纯化学合成的重大技术跨越，构建了从前驱体技术、化学合成工艺、核心装备开发到应用验证的全链条技术矩阵，成功研发并量产具有完全自主知识产权的7N级（99.99999%）、特定杂质总含量小于20ppb的合成石英砂，全面对标进口产品，用于制备半导体级石英坩埚、光刻、刻蚀等核心环节。

弘扬石英的成功并非偶然，其一步一步积累高纯石英合成技术经验，在制备工艺控制方面，沉淀了多种先进技术，重视细节优化。如原料纯度把控、残留物质清除、粒径控制技术、分散技术、掺杂工艺，并将其转化为具有竞争力的专利成果。

四氯化硅液相水解法合成高纯度石英砂的制造工艺

该发明公开四氯化硅液相水解法合成高纯度石英砂的制造工艺，步骤为四氯化硅与水液相水解，产物经洗涤、固液分离、干燥、煅烧、研磨和筛分工序得高纯度石英粉体。其中，固液分离时、洗涤与固液分离间或洗涤时设加热工序，促进原硅酸分解为偏硅酸，便于转移和清理，减少原料浪费。干燥温度100~200℃，煅烧温度1300~1500℃，煅烧炉设计优化，保证加热均匀，避免粉体团聚。

超高纯非晶态二氧化硅合成石英砂的制备工艺

该发明公开超高纯非晶态二氧化硅合成石英砂制备工艺，步骤为：无定型二氧化硅、矿化剂和超纯水高温高压反应，卸料时固液分离，再经研磨、酸洗、清洗、烘干得产品。

其利用反应釜压力实现卸料时固液分离，节省成本；采用非晶态二氧化硅，纯度高且可控，缓解我国高品质石英矿短缺问题，制得的石英砂铝含量低，9项杂质总量少。

一种半导体级合成石英制备工艺

该半导体级合成石英制备工艺包括备料、除杂、离子交换、老化提纯四步骤。备料是将碱金属硅酸盐投入设备，加中温纯水溶解稀释；除杂是加除杂剂搅拌、静置沉淀、过滤分离出重金属氢氧化物及待交换溶液；离子交换是将待交换溶液通入强酸型阳离子交换柱除钙、钠离子得溶胶液；老化提纯是溶胶液静置得初始凝胶，经老化、清洗、干燥、粉碎、烧结及超高纯提纯得产品。该工艺通过一体式设备提高自动化程度和效率。

弘扬石英已拥有石英玻璃生产线10条、深加工生产线30条，形成了稀土掺杂系列石英玻璃管、光纤类石英玻璃、普通石英玻璃管、深加工类石英功能型玻璃四大系列石英玻璃制品的生产能力。

公司主营高纯石英砂、光源、光伏、半导体、激光等领域用石英材料，形成集石英砂提纯，光源，光伏、半导体用石英管、棒、板拉制，光伏、半导体用石英器件深加工为一体的全产业链业务体系。

来源：弘扬石英官网、公众号；国家知识产权局

（中国粉体网编辑整理/九思）

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