中国粉体网讯   石英制品被广泛应用于国民经济的电子信息、新能源、材料制造等战略性新兴产业领域，在国家高新技术领域和国防建设中发挥着不可替代的作用、是战略性新兴产业重要的关键材料之一。

石英制品在半导体中的应用

在半导体集成电路与芯片制造中，石英坩埚、石英管、石英舟、石英支架等各种配件是难以替代的关键材料和制品，涉及半导体晶圆制造的大部分流程。石英制品在使用过程中直接与硅片或晶圆接触，其性能好坏对下游产品的良品率高低将造成直接影响。

半导体石英制品及应用

石英法兰：石英法兰应用在单晶硅片扩散、氧化、CVD环节，与石英玻璃扩散管配套使用，主要起连接作用。

石英坩埚：石英坩埚主要用于生长单晶硅，是半导体工业中不可或缺的容器。其中，石英坩埚的杂质会影响坩埚的力学性能、电阻率分布、单晶的纯度，当铝含量过高时，单晶纯度将会降低；当钠、钾等含量过高时，石英坩埚的熔点降低，高温性能变差，杂质过高还会使得石英坩埚在高温下生成方石英，膨胀系数与体积的改变使得坩埚机械性能急剧下降，影响生产进行。

光掩膜基板：光掩膜技术作为半导体技术中的重要组成部分，其制作材料包含玻璃基板、镀铬膜层、光刻胶、光学膜等，玻璃基板为主要的原材料。其中，石英玻璃基板的主体为石英玻璃，其光学透过率高，热膨胀率低，光谱特性优良，具有较高的硬度和较长的使用寿命，适用于高精度光掩膜基板的制造。光掩膜基板下游领域包括IC制造、IC封装、平面显示和印制线路板等行业。

石英钟罩：石英钟罩主要用作多晶硅的还原炉罩。

石英舟及支架：石英玻璃舟及支架是单晶硅片扩散、氧化、CVD沉积、退火处理等工序中不可缺少的石英玻璃承载器具。

石英环：石英环主要应用于半导体硅片刻蚀工艺，可以实现对腔体的密闭保护，防止污染。

石英玻璃扩散管：在半导体用石英制品种类中，石英扩散管是非常重要的石英玻璃制品，用于将半导体杂质原子扩散，其纯度、抗高温的变形性、几何尺寸都会直接影响下游用户产品的质量、成本和生产效率。

在半导体工艺制程中，按照工作环境温度的不同，可以将石英制品按照高温工艺和低温工艺分为两大类，高温工艺包括扩散、氧化等，低温工艺包括刻蚀、封装、光刻、清洗等。高温工艺中，石英制品需要在千度以上连续工作数个小时，所以需要石英制品耐高温，同时热稳定性好，不易变形；石英制品主要成分是二氧化硅，由于羟基改变了二氧化硅的键合结构，降低了材料的热稳定性，造成石英制品的耐温性能大幅降低，所以高温工艺用石英制品需经过脱羟处理。此外，高温工艺对石英制品性能要求还包括耐腐蚀、透光性好、杂质含量低等。低温工艺的工作温度相对较低，对石英制品不存在耐高温要求，对石英材料的羟基含量无要求。低温工艺中，石英制品的性能要求主要是耐腐蚀、透光性好、杂质含量低。

综上，高纯度石英玻璃材料及制品是半导体芯片制程中的关键耗材，在芯片制造过程的扩散、刻蚀等环节发挥着重要作用。随着半导体领域对材料性能要求的提升及芯片尺寸的变化，石英制品行业迎来了较好的发展机遇，市场需求也将逐渐从中低端向高端延伸，景气度有望持续提升。

2025年3月27日，由中国粉体网主办的“2025第三届集成电路及光伏用高纯石英材料产业发展大会”将在江苏东海召开，来自中建材衢州金格兰石英有限公司的副总经理花宁，将做题为《半导体制程中高纯石英材料制品需求》的报告。

参考来源：

左政.石英部件在半导体领域应用及市场概览

花宁等.石英玻璃晶圆的加工工艺

（中国粉体网编辑整理/初末）

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