中国粉体网讯  在半导体产业链中，以先进陶瓷为代表的关键零部件是支撑半导体设备实现先进制造的重要载体，也是目前国产化替代的重要领域。同时，以碳化硅为代表的第三代半导体材料已展现出极其重要的战略性应用价值，其中碳化硅单晶制备占据价值链核心位置。

4月25日，由中国粉体网主办的“第三届半导体行业用陶瓷材料技术研讨会暨第三代半导体SiC晶体生长技术交流会”在江苏苏州隆重开幕，会议期间，我们邀请到众多专家学者做客“对话”栏目，围绕先进陶瓷在半导体行业的应用研究及碳化硅单晶生长技术及产业化进行了访谈交流。今天我们邀请到的是来自湖南顶立科技股份有限公司董事长戴煜。

粉体网：请戴总从公司主营产品、研发实力、行业地位等方面全面介绍一下顶立科技。

戴总：顶立科技主要产品可以概括为“两特”——特种热工装备和特种材料。特种热工装备方面，我们主要围绕几大领域，第一个是碳基和陶瓷基材料热工装备，重点体现在CVD等第三代半导体在内的半导体相关设备以及半导体行业用陶瓷材料烧结炉。另一块是先进热处理，如会上傅教授所讲的AMB等工艺过程所涉及的金属与陶瓷的钎焊、热压所需的热工装备。

特种材料方面，我们主要是围绕第三代半导体碳化硅单晶生长所需的“四高两涂”，即高纯碳粉、高纯热场材料、高纯石墨、高纯碳化硅粉以及碳化硅涂层石墨基座、碳化钽涂层石墨件。

粉体网：请问戴总，您刚刚谈到的“四高两涂”具体应用领域有哪些？

戴总：关于“四高两涂”我们就是定位于针对碳化硅和氮化镓半导体生长过程中关键原料，其中“四高”和碳化钽涂层件主要是应用于碳化硅单晶生长过程中所需要的原材料；碳化硅涂层石墨基座则主要应用于氮化镓单晶生长过程中。

顶立科技高纯碳粉

粉体网：顶立科技的产品有什么优势？

戴总：我们顶立科技十分强调自主创新，同时提供高质量产品以及在设备生命周期内周到的服务，这从市场占有率和顾客的好评得以体现。

粉体网：第三代半导体生产所需装备方面，顶立科技能提供哪些产品？

戴总：主要涉及“四高两涂”相关的热工装备，比如高纯提纯炉，化学气相沉积炉，碳化钽涂层炉等。下一步我们将根据第三代半导体技术的发展尤其是液相法单晶生长技术的发展陆续提供配套的高端设备。

粉体网：好的，感谢戴总接受粉体网的采访。

（中国粉体网编辑整理/山川）

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