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唐山晶玉科技与您相约安徽合肥!2026第三代半导体 SiC 晶体生长及晶圆加工技术研讨会
中国粉体网 粉享汇 2026/5/15 14:14:26 点击 238 次
导读2026第三代半导体SiC晶体生长及晶圆加工技术研讨会,5月28日相约安徽·合肥

当前,碳化硅(SiC)作为第三代半导体核心材料,在新能源汽车、光伏储能、5G 通信、特高压、大数据中心等新基建领域快速渗透,已成为全球半导体产业的前沿制高点。我国 “十四五” 规划已将碳化硅半导体纳入重点支持领域,但与国际先进水平相比,在晶体缺陷控制、生长速率提升、加工精度优化、良品率改善等关键技术环节仍存在差距,亟需通过产学研协同破解难题。​

 

为加快推动我国 SiC 产业技术突破与成果转化,中国粉体网定于 2026 年 5 月 28 日在安徽合肥举办 “第三代半导体 SiC 晶体生长及晶圆加工技术研讨会”,汇聚行业专家、学者及企业代表共探技术路径与产业机遇。

 

在此背景下,先进半导体晶体材料将于2026年5月28日安徽·合肥举办第三代半导体SiC晶体生长及晶圆加工技术研讨会,大会将汇聚国内行业专家、学者、技术人员、企业界代表围绕晶体生长工艺、关键原材料、生长设备及应用、碳化硅晶片切、磨、抛技术等方面展开演讲交流。唐山晶玉科技股份有限公司作为参展单位邀请您共同出席。




唐山晶玉科技股份有限公司成立于2009年,从事精密电子专用机床设备的研发、生产、销售,主导产品为高精密多线切割机,被广泛应用于磁性材料、半导体材料、蓝宝石、光学玻璃等硬脆性材料精密加工领域。   

    

公司先后获得国家高新技术企业、国家专精特新“小巨人”企业、国家技术创新示范企业、国家绿色工厂、省制造业单项冠军企业等荣誉称号;建有国家企业技术中心、国家级工业设计中心、半导体精密加工技术国家地方联合工程研究中心等创新研发平台;多项技术产品荣获中国工业优秀设计奖金奖、创客中国创新创业大赛、河北省科学技术奖等奖项。


自创立伊始,晶玉科技始终秉承“持续创新,品质至上,成就用户,追求卓越”的核心价值观,不断实现跨越式发展。未来,晶玉科技将以“聚资聚智聚人才,创新创业创未来”为统领,补链、延链和强链,致力于为用户提供更加优质、高效、智能的电子专用设备,积极推动行业技术创新和发展,助力电子产业的蓬勃发展。



产品介绍


1、YBDX7050多线切割机





技术参数

  最大工件尺寸(宽×长×高)mm

摇摆:700×500×700

  切割片厚范围(mm)

1.5-30直片

  槽轮参数(mm)

 Φ140-Φ160×500 四轴

  工作台升降行程(mm)

Max 785

摇摆角度(°)

±7.5

切割线速度(m/min)

 最高1100

最大储线量(m)

  50000(0.25金刚石线)

钢线直径(mm)

0.13-0.37

总额定功率(kW)

63.6

  整机重量

  12500

主机外形尺寸(宽×长×高)(mm2580×2845×3670


2、XQ80150单线切割机




产品介绍

· 本机主要使用金刚石线截断较大规格的脆硬性材料。

· 切割钢线具有摇摆功能。

· 工作台具有平移功能。

· 精简导轮数量,便于绕线。



技术参数

  最大工件尺寸(宽×长×高)mm

800×800×1500

  切割片厚范围(mm)

 1-1500直片

  槽轮参数(mm)

Φ160*2导轮

  工作台升降行程(mm)

Max 820

摇摆角度(°)

±15

切割线速度(m/min)

最高1200

最大储线量(m)

  20000(0.25金刚石线)

钢线直径(mm)

0.25-0.5

总额定功率(kW)

25.6

  整机重量

 7500kg

主机外形尺寸(宽×长×高)(mm3050×3900×2750


3、SXQ1400开方机




产品介绍

· 本机主要用于切割水晶、人造宝石、单脆材料晶硅、陶瓷、玻璃、贵重金属、磁性材料等硬脆材料。

· 采用下置双工位工作台加工方式,切割效率更高。

· 每个工位21个切割单元,每个切割单元的切割尺寸为170mmx70mmx160mm。

· 采用水平移动工作台。


技术参数

  最大工件尺寸(宽×长×高)mm

170×70×160×42板(双工位)

  切割片厚范围(mm)

1-70直片/R≥6,弦高≤25弧片

  槽轮参数(mm)

Φ160X1430三导轮轴+导轮

  工作台升降行程(mm)

  Max 180

  切割线速度(m/min)

  最高1200

  最大储线量(m)

  20000(0.2金刚石线)

  钢线直径(mm)

  0.10-0.3

  总额定功率(kW)

66.5

  整机重量

  9000kg

  主机外形尺寸(宽×长×高)(mm)

  2240×3100×2380



会议主题:


1、碳化硅半导体产业现状、政策导向与未来市场展望​

2、大尺寸(8 英寸及以上)SiC 晶体生长技术难点及突破路径​

3、SiC 单晶生长用高纯碳粉与硅粉的纯度控制(杂质去除)及制备工艺​

4、碳化硅晶体生长装备(长晶炉)关键部件(保温层、加热系统)应用进展​

5、碳化硅衬底研磨 / 抛光工艺优化及专用耗材(磨料、抛光液)技术创新​

6、SiC/TaC 涂层制备工艺及其在晶体生长设备中的应用性能​

7、第三代半导体碳化硅的先进切割技术(机械切割、等离子切割)对比​

8、激光技术(3D 激光隐切、飞秒激光)在碳化硅切割及划片上的应用与损耗控制

9、高平整度 SiC 衬底化学机械抛光(CMP)技术研究与良率提升​

10、8 英寸碳化硅外延材料生长核心工艺(温度、压力控制)与关键装备选型​

11、碳化硅衬底及外延层缺陷(微管、位错)检测技术与自动化设备应用​

12、碳化硅晶片清洗工艺(超声清洗、化学清洗)与表面洁净度控制​

13、SiC 晶体加工关键设备(抛光机、检测设备)国产化进程与性能对标​

14、晶圆切割设备市场现状、技术趋势及国产替代案例分析​

15、立方 SiC 单晶液相法生长的界面稳定性与晶体质量调控​

16、车规级 SiC 晶圆可靠性测试(AEC-Q102 认证)适配技术​

17、SiC 晶体生长 “黑匣子” 状态实时监测(温度、压力传感器)系统开发​

18、碳化硅全产业链供应链(材料 - 设备 - 加工 - 应用)协同整合模式


报名送产业研究报告(限前50名)



会务组

联系人:段经理

电话:13810445572

邮箱:duanwanwan@cnpowder.com




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