包括芯片抛光！凯盛科技5000吨合成二氧化硅用途揭晓！

中国粉体网讯  近日，凯盛科技在回答投资者问题中表示，公司在建的5000吨合成二氧化硅主要目标市场是芯片的抛光材料、半导体用封装材料和制作材料、石英坩埚等，项目部分工序设备已经开始启动调试。

随着集成电路技术的发展，特别是进入亚微米工艺之后，由于特征尺寸的减小和高密度器件的实现，集成电路材料层之间的平坦度变得越来越关键，对半导体衬底的超精密表面处理效率和表面质量的要求也越来越高，抛光环节也愈发重要。

二氧化硅，半导体抛光的首选磨料

抛光液中磨料的作用是在晶圆和抛光垫的界面之间进行机械研磨，以确保 CMP 过程中的高材料去除率。同时，磨料也是影响抛光液稳定性的重要因素之一。随着抛光液放置时间的延长以及抛光过程中化学组分的变化，抛光液中的软磨料或硬磨料都易发生凝胶现象，这会导致抛光过程中在晶圆表面留下划痕。

化学机械抛光的工作原理示意图 来源：孙强等，碳化硅化学机械抛光中金刚石磨粒与二氧化硅磨粒作用的微观模拟分析

磨料的种类繁多, SiO₂具有良好的稳定性和分散性，不会引入金属阳离子污染，其硬度与单质硅接近，对基底材料造成的刮伤、划痕较少，适合用于软金属、硅等材料的抛光，是应用最广泛的抛光液。

不同粒径的SiO₂颗粒 来源：程佳宝等，CMP抛光液中SiO₂ 磨料分散稳定性的研究进展

凯盛科技：持续创新实现企业长期可持续发展

凯盛科技集团是以中建材玻璃新材料研究总院为核心在北京成立的科技型企业集团。玻璃新材料研究总院是新中国第一批成立的全国综合性甲级科研设计单位，2000年改制加入中国建材集团，并成立中国建材国际工程集团。

来源：凯盛科技官网

近年来，凯盛科技集团确定了玻璃新材料“3+1”战略布局，打造“显示材料+应用材料”“新能源材料”“优质浮法玻璃+特种玻璃”3大上市公司平台，建设世界一流玻璃新材料研究总院，已成为行业领先、享誉国际的高科技企业集团。

公司高纯合成二氧化硅的主要优势体现在两方面：一是自主开发的工艺技术和工艺设备，有较大的成本优势，且产线可根据市场需求，灵活调整产品结构；二是生产的前段产品可作为后段的原材料，能够有效降低整体生产成本。11月26日，凯盛科技回答投资人问题中表示，公司在建的5000吨合成二氧化硅主要目标市场是芯片的抛光材料、半导体用封装材料和制作材料、石英坩埚等，项目部分工序设备已经开始启动调试，近日可带料试生产。

参考来源：

[1] 同花顺iNews

[2] 燕禾等，化学机械抛光技术研究现状及发展趋势

[3] 程佳宝等，CMP抛光液中SiO₂ 磨料分散稳定性的研究进展

[4] 孙强等，碳化硅化学机械抛光中金刚石磨粒与二氧化硅磨粒作用的微观模拟分析

[5] 化学机械抛光建模与应用综述

[6] 凯盛科技集团有限公司官网

[7] 中国证券网

（中国粉体网编辑整理/山林）

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