菲利华实现小批量生产超低膨胀石英玻璃

中国粉体网  10月29日，湖北政务服务网公布湖北菲利华石英玻璃股份有限公司超低膨胀石英玻璃研发及生产项目备案申报。

湖北菲利华石英玻璃股份有限公司超低膨胀石英玻璃研发及生产项目位于湖北省荆州经济技术开发区。据备案信息显示，该项目利用现有厂房和设备，对炉膛结构、升降设备控制系统、尾气系统等进行智能化升级改造；新增气柜、料柜、蒸发器、纯化设备及相关检测装置，面向极紫外（EUV）光刻机对石英玻璃材料的需求进行超低膨胀石英玻璃的研制，建设1条中试生产线。

据中国粉体网了解，相较于其他低膨胀石英玻璃，SiO₂-TiO₂石英玻璃的热膨胀系数更低，在一定温度范围内甚至可以做到零膨胀或负膨胀，因此掺钛石英玻璃又被称为超低膨胀石英玻璃。低膨胀石英玻璃的制备方法主要有化学气相沉淀法、间接合成法和溶胶-凝胶法等，具有极低的热膨胀系数，是半导体光刻设备用光学元件、天文望远镜反射镜、原子钟腔体等高新技术领域的关键材料。

今年3月，国家知识产权局公布了名为“一种低膨胀系数石英玻璃锭的生产方法及生产装置”的专利，申请人为湖北菲利华石英玻璃股份有限公司。

该发明涉及一种低膨胀系数石英玻璃锭的生产方法及生产装置，属低膨胀系数石英玻璃生产技术领域。该发明以浓盐酸为溶剂、以SiCl₄、TiCl₄为溶质制备成混合原料溶液；由于潜在的溶剂化作用，使硅原子与掺杂原子以离子状态均匀分散于混合原料溶液内。由此解决了现有制备工艺难以精确控制钛含量，并在生产过程中不能保持其一致性所导致的石英块中掺杂元素分布上的波动，加剧石英材料性能不稳定性的问题。该发明其掺杂料波动范围可缩小67%；热膨胀系数波动范围减小31%；对制备低膨胀系数石英玻璃锭具有积极的意义。

湖北菲利华石英玻璃股份有限公司是我国石英玻璃龙头企业，公司主要从事高性能石英玻璃、石英纤维及复合材料的研发生产，主要服务于半导体、光通讯、光伏太阳能、高端光学及航空航天等高新技术领域。据菲利华2024年半年报显示，公司开发出的超低膨胀系数石英玻璃，实现了零膨点温度区域可控，为原子钟腔体、空间探测、极紫外光刻光学系统提供了材料支撑。

参考来源：

[1]张寒等.超低膨胀合成石英玻璃关键制造工艺研究

[2]湖北政务服务网

[3]菲利华官网

（中国粉体网编辑整理/九思） 

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