高纯超细氧化铝生产及应用

中国粉体网讯  高纯超细氧化铝粉体的纯度和粒度没有明确的定义，一般纯度大于99.9%，粒度小于10μm。其纯度可分为3N(大于99.9%)、4N(大于99.99%)、5N(大于99.999%)等级别，粒度可分为微米级(1-10μm)、亚微米级(0.1-10μm)、纳米级(小于100nm)。因为高纯超细氧化铝粉体具有高耐磨性、耐高温腐蚀性、高电阻率、高导热性等特性，并且成本低廉，储量丰富，所以氧化铝材料被应用于机械工业、耐火材料、电子工业、照明、石油化工及航空航天等领域。

1.半导体领域

半导体设备常用的陶瓷材料莫过于氧化铝陶瓷，主要采用高纯Al₂O₃涂层或Al₂O₃陶瓷作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。除了腔体以外，等离子体设备的气体喷嘴，气体分配盘和固定晶圆的固定环等也需用到高纯氧化铝陶瓷。再例如在晶圆抛光工艺中，氧化铝陶瓷可被广泛应用于抛光板、抛光磨垫校正平台、真空吸盘等。

2.电子工业领域

高纯氧化铝陶瓷的高频介电损耗小，绝缘性能优良，可用于制备绝缘性器件、陶瓷基板及透明氧化铝陶瓷等。其中，应用比较广泛的为陶瓷基板与透明氧化铝陶瓷，在许多特种光学仪器、照明设备及空间卫星设备等方面得到越来越广泛的应用。

3.医学应用领域

高纯氧化铝陶瓷因具有的良好的生物相容性、机械性能以及化学稳定性，将其植入人体，不会引起人体的排斥反应，可广泛用于制备人造骨、螺栓及人造关节等，在临床和科研上已经得到认可。

4.机械应用领域

高纯氧化铝陶瓷具有优良的机械性能，采用常压烧结方法可制备抗折强度约为 250 MPa的氧化铝陶瓷，而采用热压烧结方法制备的高纯氧化铝陶瓷，其抗折强度可达500MPa，硬度可达9GPa(莫氏硬度)。可将其用作磨轮、陶瓷钉等，其中应用最为广泛的是高纯氧化铝陶瓷刀具和高纯氧化铝瓷球。

高纯超细氧化铝粉体的制备方法很多,根据物质的聚集状态可以分为气相法、固相法及液相法，根据有无化学反应可以分为物理法和化学法，根据工艺条件可以分为干法和湿法。

2024年10月29-31日在上海跨国采购会展中心，由北京粉体技术协会与柏德英思展览(上海)有限公司联合主办“2024先进陶瓷粉体制备及应用技术研讨会”，济源恒信陶瓷总工武福运将带来《高纯超细氧化铝生产及应用》的报告，该报告介绍了高纯超细氧化铝生产方法、主要生产设备及主要用途。

专家简介

武福运，内蒙古大学化学系研究生毕业，硕士学位。原中国铝业中州分公司特种氧化铝厂高级主管、技术生产厂长；技术中心研究室主任、高级主管、主任工程师；河南晶弘精密陶瓷有限公司总工；南山集团东海氧化铝特种氧化铝厂厂长、技术厂长。中国铝业高级职称评审委员会委员，河南省有色冶金专家，教授级高级工程师。是中国铝业多品种氧化铝专家，具有丰富的多品种氧化铝新产品研发和产业化经验。

来源：

洞见热管理：氧化铝粉体，新质生产力变革下的不可或缺

中国粉体网：高纯氧化铝陶瓷：四大领域的关键‘瓷’器，尽显“纯净”魅力.山川

（中国粉体网编辑整理/空青）

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