《光刻用掺钛石英玻璃》国家标准公开征求意见

中国粉体网讯  近日，由TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口，湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、玻璃新材料创新中心（安徽）有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院微电子研究所、北京理工大学、中国计量科学研究院、中科院光电技术研究所、中科院上海硅酸盐研究所、中建材玻璃新材料研究院集团有限公司共同起草的国家标准《光刻用掺钛石英玻璃》公开征求意见。

光刻机被誉为“现代光学工业之花”，其光刻分辨率决定了集成电路图形的特征尺寸。根据摩尔定律，集成电路上可容纳的元器件数目，约每隔18-24月便会增加一倍，性能也将提升一倍。其中，缩短曝光波长是提高分辨率的最直接途径，从上世纪80年代以来光刻技术所采用的光源波长经历了5代产品的发展，每次光源的改进都显著提升了芯片技术节点。

作为最先进的光刻技术，极紫外光刻机被行业赋予拯救摩尔定律的使命，是当今国际上唯一能够做到生产7nm及以下制程芯片的设备，尤其是数值孔径达0.55的极紫外光刻机单台售价高达3亿美元。因此，开展极紫外光刻技术研究是国际集成电路产业发展的必然趋势。

极紫外光刻技术中为减小掩模和投影物镜系统的热变形，掩模和反射镜基底必须选择超低热膨胀系数的材料。掺钛石英玻璃是以SiO₂为主要成分，通过适量掺杂TiO₂，从而变成具有超低热膨胀系数的特种玻璃。其温度膨胀系数极低且根据TiO₂的掺杂比例可以调控温度膨胀特性。通常，掺钛石英玻璃的热膨胀系数可达到10-8/℃～10-9/℃量级甚至达到零膨胀，是极紫外光刻的必选材料。

由于光刻机用掺钛石英玻璃在热膨胀系数及其空间分布均匀性、热膨胀系数过零温度点、可加工特性、应力、气泡杂质等方面都有特殊的要求，目前该类材料只有美国康宁、德国贺利氏、日本尼康等公司掌握该类材料的生产关键技术，而我国目前研制的掺钛石英玻璃还无法满足当前极紫外光刻的应用需求，所以国内相关团队正在攻关解决该类材料存在的关键技术问题。

因此，针对国内光刻用掺钛石英玻璃，急需制定相适应的产品规范用以指导我国光刻用掺钛石英玻璃材料研发与生产工艺技术优化、产品质量检测及产业应用选型，解决当前光刻用掺钛石英玻璃产品存在的规范问题。

据悉，国家标准《光刻用掺钛石英玻璃》主要内容规定了光刻用掺钛石英玻璃的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。适用于光刻用掺钛石英玻璃产品，其他类似石英玻璃产品可参照使用。

参考来源：国家市场监督管理总局标准技术管理司、全国标准信息公开服务平台

（中国粉体网编辑整理/初末）

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